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1、 質量流量計,質量流量控制器的概念質量流量計,即Mass Flow Meter (MFM),是一種精確測量氣體流量的儀表,其測量值不因溫度或壓力的波動而失準,不需要溫度壓力補償。質量流量控制器,即Mass Flow Controller (MFC),不但具有質量流量計的功能,更重要的是,它能自動···