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    質量流量計,質量流量控制器的概念


    2023/01/13 瀏覽數:147

    1、 質量流量計,質量流量控制器的概念

    質量流量計,即Mass Flow Meter (MFM),是一種精確測量氣體流量的儀表,其測量值不因溫度或壓力的波動而失準,不需要溫度壓力補償。

    質量流量控制器,即Mass Flow Controller (MFC),不但具有質量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據需要進行流量設定,MFC自動地將流量恒定在設定值上,即使系統壓力有波動或環境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。質量流量控制器就是一個穩流裝置,是一個可以手動設定或與計算機連接自動控制的氣體穩流裝置。

    簡單來說,質量流量計只測量不控制。而質量流量控制器,則帶有控制閥門,既可以測量也可以控制氣體流量大小。

    2、 質量流量計,質量流量控制器的流量單位

    氣體質量流量單位一般以SCCMStandard Cubic Centimeter per Minute)和SLM (Standard Liter per Minute)?來表示,亦即每分鐘標準毫升、每分鐘標準升。這意味著,這種儀表在不同的使用條件下,指示的流量均是標準狀態下的流量。這是這種儀表和其它流量計的重要區別,也是SCCM、SLM不同于Ml/min、L/min之處。

    如果需要單位時間內流過的質量(如g/min),可以查閱標準狀態下的氣體密度,然后作乘法就可以了。

    3、質量流量計/質量流量控制器的主要的優點

    1) 直接測量氣體的質量流量

    熱式質量流量計直接測量流體質量流量,輸出質量流量信號,無需其他設備,如溫度測試儀和壓力表,也無需進行換算。

    2) 無可移動部分

    本身無類似轉軸等的移動部件,增加了本身的可靠性,無需機械維護。

    3) 可以精確的測量微小流量,采用分流裝置,又可以測量大流量,而且溫度,壓力范圍很大。

    4) 測量控制的自動化

    質量流量計/質量流量控制器可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實現對流量的數字顯示,流量自動計量,數據自動記錄,計算機管理等。對質量流量控制器而言,還可以實現流量的自動控制。通常,?模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0+5V420mA,?數字式MFC/MFM還配有RS232RS485數字串行通訊口,?能非常方便地與計算機連接,?進行自動控制。

    5) 精確地定量控制流量

    質量流量控制器可以精確地控制氣體的給定量,這對很多工藝過程的流量控制,是用于對于不同氣體的比例控制等。

    6) 準確度高,重復性好

    準確度可達±1%F.Sfull scale)重復性為±0.25%F.Sfull scale

    7) 體積小巧,安裝方便,操作簡單

    8) 技術先進,符合發展潮流



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